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長(zhǎng)距離限定反射式。適用于晶片定位。非接觸式、高精度的激光距離傳感器、位置傳感器和測(cè)量傳感器。使用三角反射法的激光位移計(jì)。向目標(biāo)物表面照射帶狀激光,通過(guò)使用CMOS接收其反射光的變化,可以非接觸方式測(cè)量高度、高度差、寬度等輪廓(截面形狀)。通過(guò)對(duì)連續(xù)獲取的輪廓數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理獲得目標(biāo)物的3D形狀,實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量及檢測(cè)。


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